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Warum kann plättchenförmige kalzinierte Tonerde zum Polieren von Halbleitern verwendet werden?

Plättchenförmige kalzinierte Tonerde ist eine spezielle Form von Tonerde (Aluminiumoxid), die in verschiedenen Hightech-Anwendungen, einschließlich der Halbleiterindustrie, verwendet wird. Bei Galliumarsenid-Wafern (GaAs) kann plättchenförmige kalzinierte Tonerde in mehreren wichtigen Prozessen verwendet werden: Polieren und Planarisieren: GaAs-Wafer erfordern extrem glatte und flache Oberflächen für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Plättchenförmige kalzinierte Tonerde wird häufig als Schleifmittel in Polierschlämmen verwendet, um die gewünschte Oberflächengüte zu erzielen. Die plättchenförmige Morphologie der Tonerdepartikel hilft dabei, eine gleichmäßige und kontrollierte Materialabtragsrate zu erzielen, die für hochpräzise Anwendungen entscheidend ist.

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